嘉兴科民电子设备技术有限公司 
研究主题：原子层沉积 太阳能电池 ALD 等离子体增强 腔体
研究学科：自动化类 电子信息类 电气类 机械类 交通运输类
- 等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》浙江大学电气工程学院;中国科学院微电子研究所微电子集成电路重点实验室;嘉兴科民电子设备技术有限公司 万军 饶志鹏 方攸同 陈波 李超波 夏洋 出版年：2014
- 关键词：等离子体增强原子层沉积 原位掺杂 氮掺杂TiO2 结构表征
- 集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》中国科学院微电子研究所仪器设备研发中心;中国科学院大学;嘉兴科民电子设备技术有限公司 杨胜 夏洋 兰丽丽 陶晓俊 冯嘉恒 明帅强 卢维尔 屈芙蓉 刘涛 出版年：2020
- 关键词：原子层沉积 磁控溅射 薄膜制备 集束型设备
- 基于ANSYS的原子层沉积加热系统温度均匀性分析
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- 《盐城工学院学报（自然科学版）》盐城工学院机械工程学院;嘉兴科民电子设备技术有限公司 孙彦庆 周临震 冯嘉恒 吴有德 出版年：2022
- 关键词：原子层沉积 反应室 温度均匀性 仿真分析
- 原子层沉积法制备SnO_(2)薄膜及其对钙钛矿电池性能的影响 ( EI收录)
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- 《材料导报》中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研究中心;中国科学院大学微电子学院;嘉兴科民电子设备技术有限公司;北京交通大学理学院 明帅强 王浙加 吴鹿杰 冯嘉恒 高雅增 卢维尔 夏洋 出版年：2022
- 关键词：原子层沉积 氧化锡薄膜 生长速率 氧空位 钙钛矿 太阳能电池
- PC控制技术在ALD系统中的应用研究
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- 《计算技术与自动化》上海理工大学;嘉兴科民电子设备技术有限公司;中国科学院微电子研究所仪器设备研发中心 徐硕 张轩雄 明帅强 出版年：2023
- 关键词：原子层沉积 PC控制 ETHERCAT TWINCAT
- 在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币
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- [发明专利] 嘉兴科民电子设备技术有限公司 20220127王浙加 李明 明帅强 夏洋 冯嘉恒 出版年：2022
- 一种原位制备掺杂黑硅的方法
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- [发明专利] 中国科学院微电子研究所;嘉兴科民电子设备技术有限公司 20100901夏洋 刘邦武 李超波 刘杰 汪明刚 李勇滔 出版年：2011
- 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极
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- [发明专利] 嘉兴科民电子设备技术有限公司 20110920黄成强 汪明刚 陈波 李超波 出版年：2012
- 双腔ALD设备的底部匀气板及双腔ALD设备
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- [实用新型] 嘉兴科民电子设备技术有限公司 20231222闻梦瑶 明帅强 李明 王浙加 李国庆 戴昕童 车睿远 张亦哲 出版年：2024
- 一种多层薄膜的制备装置
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- [发明专利] 嘉兴科民电子设备技术有限公司 20180806夏洋 出版年：2018
