文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201110279593.6

申 请 日：20110920

发 明 人：黄成强 汪明刚 陈波 李超波

申 请 人：嘉兴科民电子设备技术有限公司

申请人地址：314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号JRC大楼A213

公 开 日：20120307

公 开 号：CN102368466A

代 理 人：赵芳; 徐关寿

代理机构：33100 浙江杭州金通专利事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极，包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器，所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器，所述升降器上固定连接有下电极托盘，所述下电极托盘设置在导轨器的上方，所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘，所述顶盘的下部开有圆柱形槽，所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘，所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙，所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔，所述第一通孔与冷却气入口连通；所述底盘的底部中心开有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔隔离设置，所述第二通孔的底端连接有密封管，所述第二通孔与冷却气出口连通。本发明的有益效果：冷却效果好，从而使刻蚀效果好。

主 权 项：1.一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极，包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器，所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器，所述升降器上固定连接有下电极托盘，所述下电极托盘设置在导轨器的上方，其特征在于：所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘，所述顶盘的下部开有圆柱形槽，所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘，所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙，所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔，所述第一通孔与冷却气入口连通；所述底盘的底部中心开有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔隔离设置，所述第二通孔的底端连接有密封管，所述第二通孔与冷却气出口连通。

关 键 词：通孔  电极 托盘  底盘  导轨  气盘  圆柱形槽  升降器 连通  等离子体刻蚀机  冷却气出口  底部中心  干法刻蚀 刻蚀效果  冷却效果  升降运动  无机材料 刻蚀腔  冷却气  密封管  内固定  底端  基板 下部  坚硬  隔离  连接  

IPC专利分类号：H01J37/32(20060101)