文献类型：期刊文章

作　　者：孙彦庆[1] 周临震[1] 冯嘉恒[2] 吴有德[1]

SUN Yanqing;ZHOU Linzhen;FENG Jiaheng;WU Youde(School of Mechanical Engineering,Yancheng Institute of Technology,Yancheng Jiangsu 224002,China;Jiaxing Kemin Electronic Equipment Technology Co.,Ltd.,Jiaxing Zhejiang 314000,China)

机构地区：[1]盐城工学院机械工程学院,江苏盐城224002 [2]嘉兴科民电子设备技术有限公司,浙江嘉兴314000

出　　处：《盐城工学院学报（自然科学版）》

年　　份：2022

卷　　号：35

期　　号：2

起止页码：38-42

语　　种：中文

收录情况：CAS、普通刊

摘　　要：为了研究提高原子层沉积加热系统温度均匀性的有效解决方案,采用ANSYS仿真软件建立原子层沉积反应室模型。利用控制变量法,以提高衬底的温度均匀性为目标,观察气体入口流量、电阻片与加热盘的距离和加热温度对反应室热场的影响。随着气体流量的增加,底部流动边界层趋于稳定,加热盘的温度场分布更加均匀;随着加热盘与电阻片之间距离的增大,从电阻片到达石墨盘下表面的热量减少,石墨盘表面最高温度和温差都随之减小,温度均匀性得到提高;随着加热温度的升高,加热盘表面温度增高,因此,可以通过分区加热来提高加热盘表面温度均匀性。

关 键 词：原子层沉积 反应室  温度均匀性 仿真分析  

分 类 号：TN305]