中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 
研究主题：半导体器件 半导体结构 栅极结构 刻蚀 介质层
研究学科：电子信息类 自动化类 电气类 经济学类 矿业类
- 面向半导体制造的大数据分析平台 ( EI收录)
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- 《计算机集成制造系统》上海交通大学机械与动力工程学院;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 杨俊刚 张洁 秦威 张启华 康盛 出版年：2016
- 关键词：大数据 制造过程数据 半导体制造 分布式处理 HADOOP
- 沸石转轮系统焖烧风险防控
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- 《科技创新导报》中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;上海达恩贝拉环境科技发展有限公司 付笃 杨晓春 严晨圆 陈娟 出版年：2016
- 关键词：芯片制造业 沸石转轮 VOC治理 风险防范
- 半导体行业含氟废水处理探讨
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- 《环境与发展》中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;上海达恩贝拉环境科技发展有限公司 杨晓春 王华丽 周丽兵 出版年：2019
- 关键词：含氟废水 混凝-沉淀 CaCl2投加量 水力停留时间 电絮凝 除氟剂
- 氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率
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- 《半导体技术》上海交通大学微电子学院;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 肖方 汪辉 罗仕洲 出版年：2007
- 关键词：热磷酸 湿法蚀刻 蚀刻率 氮化硅
- 微电解处理半导体含铜废水研究
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- 《环境科学与管理》同济大学环境科学与工程学院;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 王春冬 张云秀 徐鸣 厉晓华 出版年：2014
- 关键词：微电解 半导体 含铜废水 处理方法
- FIB参数对低介电常数介质TEM样品制备的影响
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- 《半导体技术》中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 杨卫明 段淑卿 芮志贤 王玉科 郭强 简维廷 出版年：2010
- 关键词：低介电常数介质 聚焦离子束 透射电子显微镜 样品制备
- 超声强化原位电氯化法浸取难处理金矿 ( EI收录 SCI收录)
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- 《稀有金属材料与工程》上海大学;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;华东理工大学 朱萍 李坤芳 周鸣 张新胜 出版年：2009
- 关键词：难处理金矿 超声波 电氧化法 浸出率
- 集成电路制造工艺探析
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- 《中国战略新兴产业》中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 陈杰 出版年：2018
- 关键词：集成电路 制造工艺 探析
- 蓝宝石化学机械抛光液作用机制研究
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- 《上海第二工业大学学报》上海第二工业大学城市建设与环境工程学院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室;上海新安纳电子科技有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 邢星 王良咏 刘卫丽 谢华清 宋志棠 蒋莉 邵群 程继 熊世伟 刘洪涛 出版年：2013
- 关键词：化学机械抛光（CMP） 蓝宝石 机制
- UF-RO工艺回用处理半导体废水
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- 《工业用水与废水》中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 王春冬 李正华 应晓芳 出版年：2019
- 关键词：半导体废水 晶背研磨废水 超滤 反渗透
