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微电解处理半导体含铜废水研究
Study on Treatment of Cupriferous Wastewater by Micro-electrolysis Process in Semiconductor Industry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]同济大学环境科学与工程学院,上海200092 [2]中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203
年 份：2014
卷 号：39
期 号：3
起止页码：106-108
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、JST、PROQUEST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：半导体废水中,含铜废液一般采用委托处理的方式,而含铜废水通常采用与酸性废水混合后进入中和系统再排放。在300 mm晶圆制造过程中,由于含铜废水水量波动大,如果未经有效处理就排放,容易造成总排口铜的超标。采用铁炭微电解对半导体含铜废水处理,研究表明:投加铁炭填料100 g/L,pH调至2.2,反应60分钟进水水质指标范围,铜的去除率可以达到97%以上。
关 键 词：微电解 半导体 含铜废水 处理方法
分 类 号：X703]
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