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沸石转轮系统焖烧风险防控
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203 [2]上海达恩贝拉环境科技发展有限公司,上海200127
年 份：2016
卷 号：13
期 号：31
起止页码：27-29
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。
关 键 词：芯片制造业 沸石转轮 VOC治理 风险防范
分 类 号：X78]
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