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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 收藏

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研究主题:半导体器件    半导体结构    栅极结构    刻蚀    介质层    

研究学科:电子信息类    自动化类    电气类    经济学类    矿业类    

被引量:176H指数:7WOS: 7 EI: 10 北大核心: 47 CSCD: 36

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