登录    注册    忘记密码

东莞市天域半导体科技有限公司 收藏

导出分析报告

研究主题:外延片    硅外延    碳化硅    石英管    碳化    

研究学科:电子信息类    自动化类    经济学类    水利类    电气类    

被引量:1H指数:1北大核心: 1 CSCD: 1

-

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一机构
结果分析中...
排序方式:

102 条 记 录,以下是 1-10

超高压4H-SiC p-IGBT器件材料CVD外延生长
1
《电力电子技术》东莞市天域半导体科技有限公司;中国科学院半导体研究所 孙国胜 张新和 韩景瑞 刘丹  出版年:2017
国家重点研发计划(2016YFB0400402;2016YFB-0400901)~~
介绍偏晶向4H-SiC衬底上化学气相沉积(CVD)外延生长及其竞位掺杂方法,使用"热壁"CVD外延生长系统,在4英寸4°偏角n^+型4H-SiC衬底上进行了p型4H-SiC外延层及p型绝缘栅双极型晶体管(p-IGBT)器...
关键词:绝缘栅双极型晶体管 碳化硅  化学气相沉积
一种气缸加压式环刀型修盘器及其清洗抛光垫的方法
2
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20190920卓俊辉 孔令沂 邓菁 韩景瑞 孙国胜 李锡光  出版年:2019
本发明涉及抛光设备技术领域,尤其涉及一种气缸加压式环刀型修盘器,包括:被吸附平台,开设在所述被吸附平台底部外围的环形刀口,及开设在所述被吸附平台底部的导流槽,所述环形刀口的高度为3mm~20mm、宽度为2mm~5mm,且...
一种碳化硅外延晶片生长用样品托上的复合涂层制备方法
3
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20210922丁雄傑 韩景瑞 杨旭腾 种涞源 李锡光  出版年:2021
本发明公开了一种碳化硅外延晶片生长用样品托上的复合涂层制备方法,包括步骤:S1、采用射频线圈加热型CVD设备,在石墨材质样品托上沉积一层SiC涂层;S2、采用羊毛毡吸附旋转打磨的方式,在SiC涂层上镶嵌金刚石微纳颗粒;S...
一种SiC雪崩光电二极管器件外延材料的制备方法
4
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20170617张新河 孔令沂 韩景瑞 刘丹 孙国胜 李锡光 萧黎鑫  出版年:2017
本发明公开一种SiC雪崩光电二极管器件外延材料的制备方法,其包括以下步骤:S001:将SiC单晶衬底放在反应腔内,将反应腔加热1550℃‑1700℃,同时通入氢气以清洁SiC单晶衬底表面,且同时蚀刻过SiC单晶衬底表面,...
一种垂直式碳化硅高温氧化装置
5
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20120619孙国胜 董林 王雷 赵万顺 刘兴昉 闫果果 郑柳  出版年:2012
本发明公开一种垂直式碳化硅高温氧化装置,其包括:双层石英管嵌套结构,其包括外层石英管及镶嵌于外层石英管中的内层石英管,其中,该内、外层石英管之间形成一环形空腔,双层石英管嵌套结构两端分别通过一密封结构固定装配,令内、外层...
一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构
6
[实用新型] 东莞市天域半导体科技有限公司 20161221孙国胜 杨富华 宁瑾 刘兴昉 赵永梅 王占国 李锡光 张新河  出版年:2017
本实用新型公开一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构包括:外延生长室,其由感应加热材料制成,该外延生长室中形成有一矩形腔室,且该外延生长室于矩形腔室中设置有承载槽,藉由该承载槽承载用于装载SiC晶片的8英寸的托盘,该外延...
一种碳化硅外延晶片硅面贴膜后的清洗方法
7
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20220530刘丹 刘福成 冯禹 李锡光  出版年:2022
本发明公开了一种碳化硅外延晶片硅面贴膜后的清洗方法,其涉及半导体清洗工艺领域,其包括湿法清洗和气相清洗,所述气相清洗为使用氢气蚀刻去除晶片表面顽固的有机物,其中氢气的温度控制在900~1500℃;本技术方案的湿法清洗主要...
一种高温大面积碳化硅外延生长装置及处理方法
8
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20120725孙国胜 董林 王雷 赵万顺 刘兴昉 闫果果 郑柳  出版年:2015
本发明公开了一种高温大面积碳化硅外延生长装置及处理方法。该装置包括:不锈钢制作的密闭工作室、位于工作室内的石墨反应腔室、位于反应腔室的外围的加热组件;于反应腔室内设置有托盘槽,承载有碳化硅衬底的托盘放置于该托盘槽内;反应...
一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构
9
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20131009孙国胜 董林 王雷 赵万顺 刘兴昉 闫果果 郑柳  出版年:2016
本发明公开一种该超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构,其包括有一双层石英管嵌套结构及嵌套于其两端的不锈钢密封组件,该双层石英管嵌套结构包括:一外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管,其之间形成一环形空腔;该不锈钢密...
一种SiC外延片的化学机械清洗方法及专用工具
10
[发明专利] 东莞市天域半导体科技有限公司 20140723张新河 孙国胜 李锡光 萧黎鑫 刘丹 谢建良 范志颂  出版年:2014
本发明涉及一种SiC外延片的化学机械清洗方法以及该方法中的专用工具,该清洗方法包括:先将SiC外延晶片放置在基座上固定,晶片将通过基座实现旋转;其次,采用毛刷作为抛光刷,抛光刷自转并沿着晶片半径方向往复移动,对晶片的表面...
已选条目 检索报告 聚类工具

版权所有©重庆科技学院 重庆维普资讯有限公司 渝B2-20050021-7
 渝公网安备 50019002500408号 违法和不良信息举报中心