文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201310470610.3

申 请 日：20131009

发 明 人：孙国胜 董林 王雷 赵万顺 刘兴昉 闫果果 郑柳

申 请 人：东莞市天域半导体科技有限公司

申请人地址：523000 广东省东莞市松山湖北部工业北一路五号

公 开 日：20160817

公 开 号：CN103628140B

代 理 人：罗晓聪

代理机构：44228 广州市南锋专利事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种该超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其包括有一双层石英管嵌套结构及嵌套于其两端的不锈钢密封组件，该双层石英管嵌套结构包括：一外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管，其之间形成一环形空腔；该不锈钢密封组件包括：相互配合的第一不锈钢法兰盘、第一不锈钢紧固圆环、第二不锈钢法兰盘和第二不锈钢紧固圆环，该第二不锈钢法兰盘外侧以可拆装的方式安装有一不锈钢盖；该不锈钢密封组件中设置有连通环形空腔的水冷端口；该第二不锈钢法兰盘的内壁与内层石英管外壁之间形成有泄露水汽真空隔离区，该第二不锈钢法兰盘设置有与该泄露水汽真空隔离区连通的抽气管。本发明能够达到超高温度，且密封性能极好、安全可靠。

主 权 项：1.一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其包括有一双层石英管嵌套结构，该双层石英管嵌套结构包括：一外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管，其中，该内、外层石英管之间形成一环形空腔，其特征在于：所述的双层石英管嵌套结构两端分别通过一不锈钢密封组件固定装配，令内、外层石英管之间相互隔绝；所述不锈钢密封组件包括：用于密封所述外层石英管的第一不锈钢法兰盘和第一不锈钢紧固圆环以及用于密封内层石英管的第二不锈钢法兰盘和第二不锈钢紧固圆环，该第二不锈钢法兰盘外侧以可拆装的方式紧密安装有一用于打开或闭合所述内层石英管的内腔的不锈钢盖；所述的不锈钢密封组件中设置有至少一个连通所述环形空腔的水冷端口；所述第二不锈钢法兰盘的内壁与内层石英管外壁之间形成有泄露水汽真空隔离区，该第二不锈钢法兰盘上设置有至少一个与该泄露水汽真空隔离区连通的抽气管；所述的第二不锈钢法兰盘安装于第一不锈钢法兰盘的后端，并与第一不锈钢法兰盘上第二安装位端口的第二倒角之间设置有第二密封圈，令第二不锈钢法兰盘与第一不锈钢法兰盘形成紧密装配。

关 键 词：不锈钢法兰盘  不锈钢密封  石英管 双层石英管  外层石英管  环形空腔  紧固圆环  嵌套结构  水汽  隔离区 内层  不锈钢 连通  泄露  嵌套  双密封结构  不锈钢盖  密封性能  双层水冷  组件包括  超高温 抽气管  可拆装  真空室 内壁  内嵌  水冷 外壁  配合  

IPC专利分类号：C30B29/36(20060101);C30B25/08(20060101)