文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210203696.9

申 请 日：20120619

发 明 人：孙国胜 董林 王雷 赵万顺 刘兴昉 闫果果 郑柳

申 请 人：东莞市天域半导体科技有限公司

申请人地址：523000 广东省东莞市松山湖北部工业北一路五号

公 开 日：20120926

公 开 号：CN102691109A

代 理 人：罗晓聪

代理机构：44228 广州市南锋专利事务所有限公司

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种垂直式碳化硅高温氧化装置，其包括：双层石英管嵌套结构，其包括外层石英管及镶嵌于外层石英管中的内层石英管，其中，该内、外层石英管之间形成一环形空腔，双层石英管嵌套结构两端分别通过一密封结构固定装配，令内、外层石英管之间相互隔绝；射频加热组件，其包括保温件、加热件及加热驱动件，其中，加热件与内层石英管之间形成一间隙；密封结构中设置有数个与环形空腔相连通气孔；内层石英管两端紧密安装有一进气端部件及出气端部件，该进气端部件及出气端部件分别设有与所述内层石英管的内腔连通的第二进气口及第二出气口。本发明具有简易、灵活、多用、压力调节范围宽、易于控制、有较高氧化温度等诸多优点。

主 权 项：1.一种垂直式碳化硅高温氧化装置，其特征在于：该氧化装置包括：双层石英管嵌套结构，该双层石英管嵌套结构包括：一垂直放置的外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管，其中，该内、外层石英管之间形成一环形空腔，双层石英管嵌套结构两端分别通过一密封结构固定装配，令内、外层石英管之间相互隔绝；射频加热组件，该射频加热组件包括：贴合固定于外层石英管内壁的保温件、贴合固定于保温件上的加热件及包覆于外层石英管外表面的加热驱动件，其中，加热件与内层石英管之间形成一间隙；所述的密封结构中设置有数个与所述环形空腔相连通的气孔；内层石英管两端以可拆装的方式紧密安装有一进气端部件及出气端部件，该进气端部件及出气端部件分别设有与所述内层石英管的内腔连通的第二进气口及第二出气口。

关 键 词：石英管 内层  环形空腔  密封结构 嵌套结构  双层石英  出气  加热件  进气端  进气口  压力调节范围  高温氧化 加热组件  氧化温度  出气口  垂直式  驱动件  碳化硅 通气孔 内腔  射频  连通  保温  镶嵌  固定  

IPC专利分类号：C30B33/00(20060101);C30B29/36(20060101)