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武汉颐光科技有限公司 收藏

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研究主题:椭偏仪    系统参数    光谱    椭偏测量    傅里叶系数    

研究学科:机械类    自动化类    电子信息类    电气类    

被引量:10H指数:2WOS: 2 EI: 2 北大核心: 3 CSCD: 3

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116 条 记 录,以下是 1-10

基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量 ( EI收录)
1
《物理学报》华中科技大学;武汉颐光科技有限公司 陈修国 袁奎 杜卫超 陈军 江浩 张传维 刘世元  出版年:2016
国家自然科学基金(批准号:51475191,51405172);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002);中国博士后科学基金(批准号:2014M560607,2015T80791);湖北省自然科学基金(批准号:2015CFB278);教育部长江学者与创新团队发展计划(批准号:IRT13017)资助的课题~~
为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要的意义.光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学散...
关键词:纳米结构  纳米测量  光学散射测量  Mueller矩阵成像椭偏仪  
先进光谱椭偏测量技术及其在OLED中的应用
2
《微纳电子与智能制造》华中科技大学机械科学与工程学院;武汉华星光电半导体显示技术有限公司;武汉颐光科技有限公司 谷洪刚 柯贤华 丁可 赵雪楠 李先杰 刘世元  出版年:2020
国家自然科学基金项目(51727809,51805193,51525502);中国博士后基金项目(2016M602288)资助。
阐述光谱椭偏测量技术基本原理和椭偏测量数据分析方法,发展宽光谱穆勒矩阵椭偏仪等先进光谱椭偏测量技术和仪器。利用光谱椭偏测量技术精确标定典型OLED(organic light-emitting diode)材料基础光学数...
关键词:光谱椭偏  有机发光二极管 纳米薄膜测量  光学常数表征  分子取向 光学各向异性 光学模拟  协同优化设计  
基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪 ( EI收录)
3
《红外与毫米波学报》华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室;武汉颐光科技有限公司 陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元  出版年:2016
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结...
关键词:偏振光谱仪  紧凑型 可见光谱
基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪
4
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20161212陈修国 陈军 陈超 刘世元  出版年:2017
本发明属于纳米尺度下几何参数测量装置领域,并公开了基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪,包括起偏光路单元和检偏光路单元,所述起偏光路单元,用于将外部光源模块出射的光束进行偏振态调制后得到偏振态的光束,再将偏振态的光...
一种复合波片相位延迟器优化设计方法
5
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20150625江浩 刘世元 谷洪刚 张传维  出版年:2015
本发明公开了一种复合波片相位延迟器优化设计方法,包括以下步骤:1)由n个四分之一零级波片共同构成复合波片相位延迟器;2)确定每个四分之一零级波片的中心波长及光轴方位角的变动范围;3)获得第k个四分之一零级波片的传输琼斯矩...
一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统
6
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20221031杨长英 李江辉 张正华 李伟奇 张传维 何勇 薛小汝  出版年:2023
本发明提供一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统,包括依次光路连接的光谱扫描光路、Y型分叉光纤和照明光路;光谱扫描光路输出不同波长的单色光;Y型分叉光纤向照明光路输出不同波长的单色光,并接收样品表面反射光,并将样品反射光输出,...
一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法
7
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20191226郭春付 蒲俊鹏 陈军 张传维 李伟奇 刘世元  出版年:2022
本发明涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法,包括:步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲,驱动脉冲用于驱动电机,触发脉冲用于触发光谱仪,触发脉冲的周期与电机的转动周期相同;步骤2、采集校准时刻编码器输出脉冲...
一种光谱椭偏测量带宽和数值孔径退偏效应修正建模方法及装置
8
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20191231张传维 刘贤熠 郭春付 李伟奇 刘世元  出版年:2020
本发明涉及一种光谱椭偏测量带宽和数值孔径退偏效应修正建模方法及装置。通过穆勒矩阵椭偏仪测量,一次获得待测样品的全部穆勒矩阵元素,进而获得样品的退偏信息。通过合理假设带宽和数值孔径的分布函数,组合不同的分布下的节点和权重累...
一种六通道分振幅高速斯托克斯偏振仪及其参数测量方法
9
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20161019江浩 陈伟 刘佳敏 刘世元 张传维  出版年:2017
本发明公开了一种六通道分振幅高速斯托克斯偏振仪及其测量方法;依照斯托克斯向量定义开展斯托克斯参数的同步测量,测量结果与仪器矩阵无关,仪器操作极其简便;仪器既可测量完全偏振光,又可测量部分偏振光;测量速度快且时间分辨率高,...
一种光谱仪的波长校准方法
10
[发明专利] 武汉颐光科技有限公司 20231224刘亚鼎 王瑞 陈军 项雅波 江攀 王小康  出版年:2024
本发明提供一种光谱仪的波长校准方法,包括:基于光谱仪采集光源的全光谱光强;根据多个理论特征峰波长,在全光谱光强上找到每个理论特征峰波长附近范围内的最大光强,并获取最大光强邻域内的所有光强;根据每一个邻域内的所有光强对应的...
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