文献类型：期刊文章

作　　者：陶泽[1] 刘佳敏[1] 张传维[1,2] 陈修国[1] 江浩[1] 刘世元[1,2]

机构地区：[1]华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北武汉430074 [2]武汉颐光科技有限公司,湖北武汉430075

出　　处：《红外与毫米波学报》

基　　金：基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~

年　　份：2016

卷　　号：35

期　　号：5

起止页码：557-563

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、DOAJ、EI(收录号：20164302952339)、IC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000387528400011)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.

关 键 词：偏振光谱仪  紧凑型 可见光谱

分 类 号：TH744]