文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN202211352048.X

申 请 日：20221031

发 明 人：杨长英 李江辉 张正华 李伟奇 张传维 何勇 薛小汝

申 请 人：武汉颐光科技有限公司

申请人地址：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼(自贸区武汉片区)

公 开 日：20230303

公 开 号：CN115727772A

代 理 人：范三霞

代理机构：武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明提供一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统，包括依次光路连接的光谱扫描光路、Y型分叉光纤和照明光路；光谱扫描光路输出不同波长的单色光；Y型分叉光纤向照明光路输出不同波长的单色光，并接收样品表面反射光，并将样品反射光输出，以使得根据样品表面的反射光不同波长的单色光的能量，测量样品膜厚；照明光路将不同波长的单色光汇聚于样品表面，并将样品反射光汇聚进入Y型分叉光纤。本发明采用光谱扫描光路获取单色光，有效较低了成本、易于产线集成、易于标校；光谱扫描光路能够快速准确的输出单色光，1400nm‑1600nm全光谱扫描时间为0.5s，光谱分辨率为5nm。有效提高了膜厚测量速度和精确度。

主 权 项：1.一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统，其特征在于，包括依次光路连接的光谱扫描光路、Y型分叉光纤和照明光路；所述光谱扫描光路，用于产生并输出不同波长的单色光；所述Y型分叉光纤，用于向所述照明光路输出不同波长的单色光，并接收不同波长的单色光照射到样品表面的反射光，并将样品反射光输出，以使得根据样品表面的反射光不同波长的单色光的能量，测量样品膜厚；所述照明光路，用于将所述Y型分叉光纤输出的不同波长的单色光汇聚于样品表面，并将样品反射光汇聚进入所述Y型分叉光纤。

关 键 词：单色光 光谱扫描  波长  光路  照明光路  输出  样品反射光  样品表面  光纤  样品表面反射光  光谱分辨率 宽光谱扫描  汇聚 光路连接  光路系统  膜厚测量  膜厚检测  反射光 全光谱  样品膜  标校  产线  扫描  测量  

IPC专利分类号：G01B11/06