文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201911371770.6

申 请 日：20191226

发 明 人：郭春付 蒲俊鹏 陈军 张传维 李伟奇 刘世元

申 请 人：武汉颐光科技有限公司

申请人地址：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地办公研发楼18栋4层5、6、7室

公 开 日：20220826

公 开 号：CN111220543B

代 理 人：谢洋

代理机构：武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：本发明涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，包括：步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，驱动脉冲用于驱动电机，触发脉冲用于触发光谱仪，触发脉冲的周期与电机的转动周期相同；步骤2、采集校准时刻编码器输出脉冲与触发脉冲的时间偏差，获取校准时刻相位补偿器的初始方位角；步骤3、采集重启后编码器输出脉冲与触发脉冲的时间偏差，计算出重启后补偿器的初始方位角和校准时刻补偿器的初始方位角之间的偏差；步骤4、将重启后补偿器的初始方位角和校准时刻补偿器的初始方位角之间的偏差补偿到校准时刻补偿器的初始方位角中，即得到重启后补偿器的初始方位角。本发明提高了测量精度，降低了硬件要求，节约了设备成本。

主 权 项：1.一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，所述椭偏仪包括光源、起偏器、相位补偿器、检偏器、光谱仪，所述光源依次穿过所述起偏器、所述相位补偿器，经待测物反射/透射后依次进入所述检偏器、所述光谱仪，所述相位补偿器设置在中空轴电机上，所述电机驱动所述相位补偿器旋转，其特征在于，所述控制方法包括以下步骤：步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，所述驱动脉冲用于驱动所述电机，所述触发脉冲用于触发所述光谱仪，所述触发脉冲的周期与所述电机的转动周期T相同；步骤2、对所述椭偏仪进行校准，采集校准时刻所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t1，并获取校准时刻所述相位补偿器的初始方位角Cs1；步骤3、对所述椭偏仪进行重启，采集重启后所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t2，通过重启后所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t2、校准时刻所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t1、所述电机转动周期T计算出重启后补偿器的初始方位角Cs2和校准时刻补偿器的初始方位角Cs1之间的偏差Δα，计算方法如公式(1)： 步骤4、将重启后补偿器的初始方位角Cs2和校准时刻补偿器的初始方位角Cs1之间的偏差Δα补偿到校准时刻补偿器的初始方位角Cs1中，即得到重启后补偿器的初始方位角Cs2，计算方法如公式(2)：C_S2＝C_S1+Δα (2)。

关 键 词：方位角  补偿器  触发脉冲 校准  重启  时间偏差  编码器输出脉冲  光谱型椭偏仪  输出驱动脉冲  采集  相位补偿器  旋转补偿器 光谱仪  后编码器  偏差补偿  驱动电机  驱动脉冲  设备成本  时钟电路 输出脉冲 系统控制  硬件要求 转动周期  触发  电机  测量  节约  

IPC专利分类号：G01N21/01;G01N21/21;G01B11/06