- 电子级多晶硅生产技术探讨
- 1
- 《山东化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 田新 吴锋 于跃 出版年：2017
- 关键词：电子级 多晶硅 耦合生产系统
- 影响电子级多晶硅清洗质量的相关因素
- 2
- 《中国设备工程》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 于跃 高召帅 吴锋 王娣 出版年：2018
- 关键词：电子级多晶硅 清洗 质量
- 电子级多晶硅清洗过程管控要点
- 3
- 《中国设备工程》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 厉忠海 于跃 王阳 沈棽 出版年：2019
- 关键词：电子级多晶硅 清洗方法 表面金属含量
- 电子级多晶硅金属杂质来源探讨
- 4
- 《山东化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 高召帅 于跃 谢世鹏 厉忠海 王培 出版年：2018
- 关键词：电子级多晶硅 金属杂质 来源
- 集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践
- 5
- 《山东化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 吴锋 出版年：2022
- 关键词：电子级多晶硅 集成电路 大规模产业化
- 三氯氢硅除硼吸附性能研究
- 6
- 《山东化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 田新 于跃 吴锋 出版年：2017
- 关键词：三氯氢硅 载体硅胶 吸附
- 集成电路用电子级多晶硅沉积工艺研究
- 7
- 《当代化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 吴锋 出版年：2020
- 关键词：电子级多晶硅 化学气相沉积 二氯二氢硅
- 多晶硅生产过程中硅渣浆的处理
- 8
- 《化工设计通讯》江苏中能硅业科技发展有限公司;江苏协鑫特种材料科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司 张春伟 田新 出版年：2016
- 关键词：多晶硅 生产过程 硅浆渣 处理研究
- 多晶硅还原炉倒棒原因分析
- 9
- 《化工设计通讯》江苏中能硅业科技发展有限公司;江苏协鑫特种材料科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司 于伟华 王彬 田新 张春伟 出版年：2016
- 关键词：多晶硅 还原炉 倒棒 原因分析
- 用于制备高纯硅烷的反应精馏工艺开发
- 10
- 《山东化工》江苏鑫华半导体材料科技有限公司 吴锋 出版年：2021
- 关键词：反应精馏 硅烷 工艺开发 液体催化剂
