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三氯氢硅除硼吸附性能研究
Study on the Adsorption Performance of Trichlorohydrin in Addition to Boron Adsorption
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州221004
基 金：国家重大专项(02专项);极大规模集成电路制造技术及成套工艺(2014ZX02404)
年 份：2017
卷 号：46
期 号：19
起止页码：29-30
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：利用固体吸附剂来去除三氯氢硅(TCS)中的极性杂质硼是电子级多晶硅的生产领域中是一种比较有效方法。本文利用四氯化铂作为吸附质,以层析硅胶作为载体,制备出一种载体型除硼吸附剂。并将其应用于吸附三氯氢硅中的硼杂质,考察其吸附性能。实验结果表明:制备的硅胶/四氯化铂载体型除硼吸附剂具有明显的除硼吸附效果。
关 键 词：三氯氢硅 载体硅胶 吸附
分 类 号：TN304.052] TQ127.2]
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