文献类型：期刊文章

作　　者：吴锋[1]

Wu Feng(Jiangsu Xinhua Semiconductor Material Technology Co.,Ltd.,Xuzhou 221004,China)

机构地区：[1]江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州221004

出　　处：《山东化工》

年　　份：2021

卷　　号：50

期　　号：18

起止页码：201-203

语　　种：中文

收录情况：CAS、普通刊

摘　　要：目前业内多采用传统歧化工艺制造硅烷,并用于流化床法生产颗粒硅产品,因多步歧化反应转化率偏低,大量中间物料需要进行循环,导致硅烷制备环节能耗和设备投资较大。反应精馏则是一种将反应和精馏进行耦合的新型精馏工艺,将其应用于硅烷歧化反应将能够有效降低运行能耗、减少所需设备,有助于颗粒硅的成本降低。本文利用自主研发的液体催化剂,开发设计了反应精馏制备高纯硅烷的中试工艺流程,对精馏塔结构进行了详细设计,评估了工艺的经济性,并提出了后续的研究开发方向。

关 键 词：反应精馏 硅烷 工艺开发  液体催化剂

分 类 号：TQ264.1]