期刊文章详细信息
电子级多晶硅生产技术探讨
The Production Technology of Electronic Grade Polysilicon
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州221004
基 金：国家重大专项(02专项);极大规模集成电路制造技术及成套工艺(2014ZX02404)
年 份：2017
卷 号：46
期 号：18
起止页码：116-117
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础,但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求,国内并没有厂家能够进行商业化量产,这并不利于集成电路行业的健康稳定发展。本文在国内已掌握的改良西门子法多晶硅生产技术的基础上,结合国外先进技术,对精馏、还原的工艺和配套设备都进行了改良,并将光伏级多晶硅和电子级多晶硅生产系统进行了耦合,提高了效率,降低了整体生产成本,降低了原料对于电子级多晶硅生产的制约,形成了闭路循环生产体系。
关 键 词：电子级 多晶硅 耦合生产系统
分 类 号：TQ426.95]
参考文献：
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引证文献：
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同被引文献：
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