期刊文章详细信息
多晶硅还原炉倒棒原因分析
Analysis of Polysilicon Reduction Furnace down Rod Reasons
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]江苏协鑫特种材料科技有限公司,江苏徐州221004 [3]江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州221004
年 份：2016
卷 号：42
期 号：5
起止页码：119-120
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：分析了多晶硅还原炉倒棒的危害,并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究,最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施,为预防多晶硅还原炉倒棒提供了一些参考。
关 键 词：多晶硅 还原炉 倒棒 原因分析
分 类 号：TQ127.2]
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