期刊文章详细信息
多晶硅生产过程中硅渣浆的处理
Study on the Treatment of Polysilicon Production Process of Silicon Slag Slurry
文献类型：期刊文章
Zhang Chun-wei Tian Xin
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]江苏协鑫特种材料科技有限公司,江苏徐州221004 [3]江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州221004
年 份：2016
卷 号：42
期 号：8
起止页码：80-80
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：首先探讨了多晶硅生产过程中硅浆渣的处理难点,并对当前国内外多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺进行研究,最后展望了硅浆渣处理工艺的发展方向,为多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺的设计提供资料参考。
关 键 词：多晶硅 生产过程 硅浆渣 处理研究
分 类 号：TN304.12]
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