北京大学信息科学技术学院微电子研究院 
研究主题：集成电路 SOI MOSFET 硅 多晶硅
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类 电气类 航空航天类
- 超深亚微米集成电路中的互连问题——低k介质与Cu的互连集成技术 ( EI收录)
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- 《Journal of Semiconductors》北京大学微电子学研究所 王阳元 康晋锋 出版年：2002
- 关键词：超深亚微米 集成电路 低K介质 互连集成技术 RF互连 光互连
- 微电子机械系统中的残余应力问题 ( EI收录)
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- 《机械强度》中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室;北京大学微电子学研究所 钱劲 刘澂 张大成 赵亚溥 出版年：2001
- 关键词：微电子机械笼 残余应力 薄膜 屈曲 粘附 响应频率
- 面向21世纪的微电子技术
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- 《世界科技研究与发展》北京大学微电子研究所 王阳元 张兴 出版年：1999
- 关键词：微电子技术 集成系统 微光机电系统 DNA芯片 21世纪 发展趋势 CMOS电路
- 硅基MEMS技术 ( EI收录)
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- 《机械强度》北京大学微电子学研究所 郝一龙 张立宪 李婷 张大成 出版年：2001
- 关键词：微电子机械系统 牺牲层 体硅工艺 深刻蚀
- 多晶硅薄膜应力特性研究 ( EI收录)
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- 《Journal of Semiconductors》北京大学微电子学研究所 张国炳 郝一龙 田大宇 刘诗美 王铁松 武国英 出版年：1999
- 关键词：多晶硅薄膜 VLSI LPCVD 制备 应力特性
- DEM技术研究
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- 《微细加工技术》上海交通大学信息存储研究中心;"薄膜与微细技术"国家教委部门开放研究实验室;北京大学微电子学研究所 陈迪 张大成 丁桂甫 赵小林 章吉良 杨春生 蔡炳初 武国英 出版年：1998
- 关键词：DEM技术 深层刻蚀 微电铸 微复制 LIGA技术
- 高过载测试中结构防护模型研究 ( EI收录)
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- 《测试技术学报》北京大学微电子研究所;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室 刘俊 石云波 马游春 出版年：2005
- 关键词：高过载 结构防护 冲击测试
- 脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用 ( EI收录)
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- 《功能材料》北京大学物理系;北京大学微电子研究所;汕头大学科学院材料所;清华大学物理系 李美亚 王忠烈 林揆训 熊光成 范守善 出版年：1998
- 关键词：脉冲激光制膜 功能薄膜 外延生长 PLD 薄膜技术
- 一种基于简单移位的二——十进制相互转换算法 ( EI收录)
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- 《电子学报》北京大学微电子学研究所 王迎春 吉利久 出版年：2003
- 关键词：十进制码 二进制 转换 N值逻辑 M值逻辑 进制
- CMOS射频集成电路的研究进展
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- 《微电子学》北京大学微电子学研究所 张国艳 黄如 张兴 王阳元 出版年：2004
- 关键词：CMOS 射频集成电路 低噪声放大器 混频器 压控振荡器 功率放大器
