期刊文章详细信息
面向21世纪的微电子技术
Microelectronics Technology in The 21st Century
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京大学微电子研究所
年 份：1999
卷 号：21
期 号：4
起止页码：4-11
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文对２１ 世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为２１ 世纪初的微电子技术仍将以硅基 Ｃ Ｍ Ｏ Ｓ 电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点，例如微机电系统（ Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ） 、 Ｄ Ｎ Ａ 芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地，超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、 Ｓ Ｏ Ｉ 技术等将在近几年内得到快速发展。２１
关 键 词：微电子技术 集成系统 微光机电系统 DNA芯片 21世纪 发展趋势 CMOS电路
分 类 号：TN4]
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