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脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用 ( EI收录)
The Pulsed Laser Deposition Technique and its Applications in the Study of Functional Thin Films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京大学物理系 [2]北京大学微电子研究所 [3]汕头大学科学院材料所 [4]清华大学物理系
年 份：1998
卷 号：29
期 号：2
起止页码：132-135
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。
关 键 词：脉冲激光制膜 功能薄膜 外延生长 PLD 薄膜技术
分 类 号：O484.1] TB43[物理学类]
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