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北京中电科电子装备有限公司 收藏

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研究主题:晶圆    划片机    芯片    减薄    键合    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    电气类    经济学类    

被引量:113H指数:5北大核心: 4 CSCD: 1

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480 条 记 录,以下是 1-10

先进封装关键工艺设备面临的机遇和挑战
1
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 王志越 易辉 高尚通  出版年:2012
随着信息技术的发展,集成电路封装工艺技术发展为先进封装技术。先进封装关键工艺设备作为实现先进封装工艺的基础和保证,已经成为制约半导体工业发展的瓶颈之一,面临良好的机遇和严峻的挑战。
关键词:封装工艺 减薄机  键合机 倒装
倒装芯片键合技术发展现状与展望
2
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 叶乐志 唐亮 刘子阳  出版年:2014
我国集成电路发展十二五规划中提到,大力发展先进封装和测试技术,推进高密度堆叠型三维封装产品的进程,支持封装工艺技术升级和产能扩充。阐述了先进封装技术中的倒装芯片键合工艺现状及发展趋势,以及国际主流倒装设备发展及国内应用现...
关键词:倒装芯片 键合技术 三维封装 国产装备  综述  
IC封装设备的直线电机定位精度试验研究
3
《组合机床与自动化加工技术》桂林电子科技大学机电工程学院;北京中电科电子装备有限公司 邱彪 黄美发 常青青 刘亚奇  出版年:2014
国家自然科学基金资助项目(50865003);广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任课题(13-051-09-009Z)
直线电机凭借其优异的传动性能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试...
关键词:直线电机 定位精度  激光干涉仪 误差补偿
划片机划切工艺研究
4
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 闫伟文 高清勇  出版年:2014
介绍了划片机的划切原理,对划切中影响划切质量的关键因素进行了系统分析研究,并提出指导性的建议。
关键词:划片机 划切工艺  划切参数  
划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究
5
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所;北京中电科电子装备有限公司 王明权 卫桁  出版年:2010
国家科技重大专项:极大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项;封装设备关键部件与核心技术项目;高速空气静压电主轴课题(2009ZX02021-001)资助项目
划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。
关键词:空气静压电主轴  空气轴承 主轴电机 动平衡 热变形
晶圆划切工艺与优化
6
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 张伟 贾月明  出版年:2012
在研究晶圆划片机划切工艺的基础上,分析了划切的质量缺陷和划切质量评估矩阵,阐述了影响划切质量的诸多因素。介绍了划片刀、承载薄膜、划切模式、划切冷却水的添加剂和划切参数的选择对划切质量的影响,通过对以上5个方面的优化来达到...
关键词:晶圆 划切设备  工艺  优化  
高速空气静压电主轴的振动及控制策略
7
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所;北京中电科电子装备有限公司 王明权 李战伟 贾月明  出版年:2011
高速空气静压电主轴资助项目(2009ZX02021-001);精密数控外圆磨床资助项目(2010ZX04001-122)
从主轴的结构和工作机理出发,分析气锤振动、受迫共振、机械振动及电机不平衡磁拉力等引起主轴振动的关键因素,依据分析结果提出减小或消除主轴振动的措施。
关键词:气锤振动  受迫共振  机械振动 不平衡磁拉力
基于音圈电机伺服控制的应用研究
8
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 石艺楠 郝靖  出版年:2012
国家863项目(20094A043103)
随着电机控制技术的不断发展,传统的伺服电机控制方式已经不能适应高速度、高精度控制运动的要求,而直线电机的直接驱动方式由于取消了一切中间传动环节,具有结构简单、动态响应快、速度快、精度高、振动和噪音小等优点,在各类高速、高...
关键词:音圈式直线电机  三环伺服控制  拾放机构  
全闭环同步带传动系统的建模与控制方法研究
9
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 朱伟 周启舟 刘亚奇 徐品烈  出版年:2013
同步带传动是一种常用的传动机构,在高速高精度设备中,其动态性能直接影响到设备的精度和效率。对同步带系统进行建模,对电机模型、同步带传动模型和控制模型进行耦合分析并采用Simulink仿真系统中电流、速度以及位移全闭环的P...
关键词:同步带传动 全闭环 建模  PID控制
COSMOS在LED粘片机芯片拾取臂振动分析中的应用
10
《电子工业专用设备》北京中电科电子装备有限公司 郎平 郭东  出版年:2011
国家863项目(2009AA043103)
应用COSMOS软件对LED粘片机芯片拾取臂的振动情况进行了分析:通过COS-MOSWorks软件对该结构进行了模态分析得到该结构的固有频率;通过COSMOSMotion软件对该结构进行运动学分析,得到该结构运动过程中的...
关键词:COSMOS 振动分析  LED粘片机  
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