文献类型：期刊文章

作　　者：邱彪[1] 黄美发[1] 常青青[1] 刘亚奇[2]

机构地区：[1]桂林电子科技大学机电工程学院,广西桂林541004 [2]北京中电科电子装备有限公司,北京100176

出　　处：《组合机床与自动化加工技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50865003);广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任课题(13-051-09-009Z)

年　　份：2014

期　　号：8

起止页码：49-52

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：直线电机凭借其优异的传动性能在IC封装设备中被广泛应用,其定位精度直接影响设备的总体精度。为了提高直线电机定位精度,采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机的定位精度进行测试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行了测试,发现直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不大,且定位精度具有累计性。最后,根据功能要求采用分段补偿方法对直线电机定位精度进行误差补偿,试验结果表明该误差补偿方法简单易行。

关 键 词：直线电机 定位精度  激光干涉仪 误差补偿

分 类 号：TH39] TG506]