期刊文章详细信息
划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究
Study on Key Technologies of Dicing Saw’s Air Spindle
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601 [2]北京中电科电子装备有限公司,北京亦庄100176
基 金：国家科技重大专项:极大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项;封装设备关键部件与核心技术项目;高速空气静压电主轴课题(2009ZX02021-001)资助项目
年 份：2010
卷 号：39
期 号：6
起止页码：16-20
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。
关 键 词：空气静压电主轴 空气轴承 主轴电机 动平衡 热变形
分 类 号：TN305]
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