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山东大学物理学院光电材料与器件研究所 收藏

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研究主题:柔性衬底    透明导电膜    氧化锌    SNO    磁控溅射    

研究学科:电子信息类    电气类    能源动力类    机械类    环境科学与工程类    

被引量:222H指数:10WOS: 17 EI: 28 北大核心: 37 CSCD: 47

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58 条 记 录,以下是 1-10

偏压磁控溅射法在水冷柔性衬底上制备ITO透明导电膜 ( EI收录)
1
《物理学报》山东大学光电材料与器件研究所;山东师范大学物理系 杨志伟 韩圣浩 杨田林 赵俊卿 马瑾 马洪磊 程传福  出版年:2000
山东省计委九五攻关项目!(鲁计投资 [字 ] 19976 0 2号 )资助的课题&&
通过对衬底施加负偏压吸引等离子体中的阳离子对衬底轰击 ,从而用射频磁控溅射法在水冷透明绦纶聚脂胶片上制备出相对透过率为 80 %左右、最小电阻率为 6 3× 10 -4 Ωcm、附着良好的ITO(IndiumTinOx...
关键词:偏压磁控溅射法  水冷柔性衬底  ITO透明导电膜  
射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究 ( EI收录)
2
《太阳能学报》山东建材学院分院;山东大学物理系;山东大学化学系;山东大学光电材料与器件研究所 杨田林 张德恒 李滋然 马洪磊 马瑾  出版年:1999
国家自然科学基金
用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的ZnO:Al透明导电膜。研究了薄膜的结构。
关键词:磁控溅射 柔性衬底 薄膜  透明导电 氧化锌  铝  
用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究 ( EI收录)
3
《Journal of Semiconductors》山东大学光电材料与器件研究所;中国科学院半导体研究所 曹宝成 于新好 马瑾 马洪磊 刘忠立  出版年:2001
目前半导体工业生产中普遍采用的清洗技术是 RCA清洗技术 .文中介绍了一种含表面活性剂和螯合剂的新型半导体清洗剂和清洗技术 .并利用 X射线光电子谱和原子力显微镜等测试方法 ,分别比较了用两种清洗技术清洗过的硅片表面 ....
关键词:表面清洗  表面活性剂 螯合剂 清洗液 硅片
柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究 ( EI收录)
4
《太阳能学报》山东大学光电材料研究所;淄博学院;山东省科学院测试中心 杨志伟 韩圣浩 杨田林 叶丽娜 马洪磊 韩锡贵  出版年:2001
用偏压磁控溅射法在水冷PPA(PolypropyleneAdipate)聚脂胶片上制备了性能优良的ITO(IndiumTinOxide)透明导电膜 ,对薄膜的光电性质进行了研究。制备样品的相对透过率为 80 %左右、最小...
关键词:光电性质 溅射 柔性衬底 ITO膜
有机衬底SnO_2:Sb透明导电膜的制备与特性研究 ( EI收录)
5
《物理学报》山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所;山东大学晶体材料国家重点实验室;淄博学院数理系 郝晓涛 马瑾 徐现刚 杨莺歌 张德恒 杨田林 马洪磊  出版年:2002
高等学校骨干教师资助计划资助的课题~~
常温下 ,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2 :Sb透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究 .制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了二氧化锡的金红石结构 .性能良好的薄膜电阻率为 6 .5× 10...
关键词:柔性衬底 SnO2:Sb透明导电膜  射频磁控溅射法 制备  氧化锡 锡  光学透过率  光电性质 结构  
有机衬底SnO_2∶Sb透明导电膜的研究 ( EI收录)
6
《Journal of Semiconductors》山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所;山东大学晶体材料国家重点实验室 马瑾 郝晓涛 马洪磊 张德恒 徐现刚  出版年:2002
高等学校骨干教师基金 ;教育部科学技术研究重点资助项目
采用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备出 Sn O2 ∶ Sb透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究 .制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构 .Sn O2 ∶ S...
关键词:有机衬底  SnO2:Sb膜  磁控溅射 透明导电膜 二氧化锡
电子束法沉积 ITO 透明导电膜的研究
7
《华中理工大学学报》华中理工大学电子科学与技术工程系;山东大学光电材料与器件研究所 史济群 周京英 马稚尧 马洪磊  出版年:1998
论述了ITO膜的导电机理及生长机理,讨论了电子束加热真空蒸镀ITO膜的方法中,膜的组分、氧分压、衬底温度和蒸发速率等几个参数对ITO膜光电性能的影响.在选择合适的工艺条件下制备ITO膜,电阻率约4×10-4Ω·cm,可见...
关键词:ITO 薄膜  氧空位 蒸汽分压  电子束沉积  导电膜  
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的电学性质研究 ( EI收录)
8
《太阳能学报》山东大学光电材料与器件研究所 马瑾 计峰 马洪磊 李淑英  出版年:1995
真空蒸发醋酸锌和氯化铝,在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
关键词:AZO薄膜 氧化锌 真空蒸发  氯化铝 电导率
磁场处理种子对作物生长的影响
9
《山东大学学报(自然科学版)》山东大学光电材料与器件研究所;山东大学物理系;山东大学科技开发公司;山东省农科院;潍坊教育学院 徐安起 丁学厚 姜滢 高春新 孙小镭 李忠照  出版年:1998
通过对小麦和黄瓜的种子进行磁场处理研究,并对处理后的种子作生理参数测试和田间种植试验证明,磁场处理可明显提高种子活性及作物产量.
关键词:种子 磁场处理 作物 生长  物理效应
有机材料衬底ITO透明导电膜的结构和导电特性研究 ( EI收录)
10
《Journal of Semiconductors》山东大学光电材料与器件研究所 马瑾 赵俊卿 李淑英 马洪磊  出版年:1998
采用真空反应蒸发技术,蒸发高纯度铟锡合金,在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜.研究了薄膜结构及电阻率、载流子浓度和迁移率等电学参数对制备条件的依赖关系.
关键词:氧化铟 ITO 透明导电膜 有机材料  衬底
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