期刊文章详细信息
铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究 ( EI收录)
ELECTRICAL PROPERTIES OF Al-DOPED ZINC OXIDE FILMS PREPARED BY EVAPORATING METHOD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东大学光电材料与器件研究所
年 份：1995
卷 号：16
期 号：2
起止页码：216-219
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：真空蒸发醋酸锌和氯化铝，在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
关 键 词：AZO薄膜 氧化锌 真空蒸发 氯化铝 电导率
分 类 号：TM215.3[材料类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
