文献类型：期刊文章

作　　者：郝晓涛[1] 马瑾[1] 徐现刚[2] 杨莺歌[1] 张德恒[1] 杨田林[3] 马洪磊[1]

机构地区：[1]山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所,济南250100 [2]山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100 [3]淄博学院数理系,淄博255000

出　　处：《物理学报》

基　　金：高等学校骨干教师资助计划资助的课题~~

年　　份：2002

卷　　号：51

期　　号：2

起止页码：351-354

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004057994190)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000173710400028)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：常温下 ,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2 :Sb透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究 .制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了二氧化锡的金红石结构 .性能良好的薄膜电阻率为 6 .5× 10 - 3Ω·cm ,载流子浓度为 1.2× 10 2 0 cm- 3 ,霍耳迁移率是 9.7cm2 ·V- 1 ·s- 1 .薄膜在可见光区的平均透过率达到了 85 %.

关 键 词：柔性衬底 SnO2:Sb透明导电膜  射频磁控溅射法 制备  氧化锡 锡  光学透过率  光电性质 结构  

分 类 号：O484.1]