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射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究 ( EI收录)
STUDY OF TRANSPARENT CONDUCING ZnO:Al FILMS DEPOSITED ON ORGANIC SUBSTRATE BY R.F. MAGNETRON SPUTTERING
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东建材学院分院 [2]山东大学物理系 [3]山东大学化学系 [4]山东大学光电材料与器件研究所
基 金：国家自然科学基金
年 份：1999
卷 号：20
期 号：2
起止页码：200-203
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的ＺｎＯ：Ａｌ透明导电膜。研究了薄膜的结构。
关 键 词：磁控溅射 柔性衬底 薄膜 透明导电 氧化锌 铝
分 类 号：O484.4]
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