期刊文章详细信息
有机材料衬底ITO透明导电膜的结构和导电特性研究 ( EI收录)
Structural and Conductive Properties of ITO Films Deposited on Organic Substrate
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东大学光电材料与器件研究所
出 处：《Journal of Semiconductors》
年 份：1998
卷 号：19
期 号：11
起止页码：841-845
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI(收录号：1999374735317)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用真空反应蒸发技术，蒸发高纯度铟锡合金，在有机薄膜基片上制备出高质量的ＩＴＯ透明导电薄膜．研究了薄膜结构及电阻率、载流子浓度和迁移率等电学参数对制备条件的依赖关系．
关 键 词：氧化铟 ITO 透明导电膜 有机材料 衬底
分 类 号：TN304.21] TN304.055
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