山东大学控制科学与工程学院电子束研究所 
研究主题：电子束 电子束光刻 抗蚀剂 MONTE CARLO模拟
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类
- LIGA工艺的发展及应用
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- 《微纳电子技术》山东大学控制科学与工程学院电子束研究所 孔祥东 张玉林 宋会英 出版年：2004
- 关键词：LIGA工艺 光刻胶 X射线 曝光 微机电系统
- 电子束三维光刻技术的研究
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- 《微细加工技术》山东大学控制学院电子束研究所 孔祥东 张玉林 尹明 出版年：2003
- 关键词：电子束三维光刻 IH 抗蚀剂 电子束液态光刻 真空腔
- 压电陶瓷微位移工作台的建模方法 ( EI收录)
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- 《光学精密工程》泰山学院物理与电子科学系;山东大学电子束研究所 魏强 张玉林 出版年：2007
- 关键词：精密工作台 压电陶瓷 纳米定位 神经网络 系统辨识
- 扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究 ( EI收录)
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- 《光学精密工程》山东大学控制科学与工程学院电子束研究所 魏强 张玉林 于欣蕾 郝慧娟 卢文娟 出版年：2006
- 关键词：扫描隧道显微镜 精密工作台 神经网络 PID控制 自适应控制
- 电子束曝光中电子散射模型的优化 ( EI收录)
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- 《微细加工技术》山东大学控制学院电子束研究所 宋会英 张玉林 魏强 孔祥东 出版年：2005
- 关键词：电子束曝光 散射模型 MONTE CARLO方法 二次电子
- 低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟
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- 《微细加工技术》山东大学控制学院电子束研究所 宋会英 张玉林 孔祥东 出版年：2004
- 关键词：电子束 MONTE CARLO模拟 散射 二次电子
- 电子束真空辐射固化技术基础研究
- 7
- 《微细加工技术》山东大学控制学院电子束研究所 孔祥东 孙晓军 张玉林 宋会英 出版年：2004
- 关键词：低聚物 辐射固化 电子束 真空
- IH工艺的发展及应用
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- 《微纳电子技术》山东大学控制学院电子束研究所 孔祥东 张玉林 尹明 出版年：2003
- 关键词：IH工艺 立体光刻 抗蚀剂 聚合物结构 微机电系统 集成固化聚合物
- 基于电子束光刻的LIGA技术研究
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- 《微细加工技术》山东大学控制学院电子束研究所 孔祥东 张玉林 魏守水 出版年：2004
- 关键词：电子束光刻 LIGA技术 刻蚀深度 曝光剂量 半导体
- 高能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟 ( EI收录)
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- 《高能物理与核物理》山东大学控制学院电子束研究所 宋会英 张玉林 魏强 孔祥东 出版年：2005
- 关键词：电子束光刻 MONTE CARLO模拟 邻近效应 二次电子
