文献类型：期刊文章

作　　者：孔祥东[1] 孙晓军[1] 张玉林[1] 宋会英[1]

机构地区：[1]山东大学控制学院电子束研究所,济南250061

出　　处：《微细加工技术》

基　　金：国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)

年　　份：2004

期　　号：3

起止页码：10-13

语　　种：中文

收录情况：SCOPUS、普通刊

摘　　要：提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述。通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-II型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-II型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论。在此基础上使用SDS-II型曝光机在20kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构。基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法。

关 键 词：低聚物 辐射固化  电子束 真空

分 类 号：TN305.7]