文献类型：期刊文章

作　　者：魏强[1] 张玉林[1] 于欣蕾[1] 郝慧娟[1] 卢文娟[1]

机构地区：[1]山东大学控制科学与工程学院电子束研究所

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金重大研究计划资助项目(No.90307003);国家自然科学基金资助项目(No.10572078);山东省自然科学基金资助项目(No.Y2003G03)

年　　份：2006

卷　　号：14

期　　号：3

起止页码：422-427

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20063410082530)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能。

关 键 词：扫描隧道显微镜 精密工作台 神经网络 PID控制 自适应控制

分 类 号：TH742.9] TH703.6[仪器类]