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山东大学控制科学与工程学院电子束研究所 收藏

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研究主题：电子束    电子束光刻    抗蚀剂    MONTE    CARLO模拟    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    

被引量：83H指数：7WOS: 1 EI: 17 北大核心: 7 CSCD: 6

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