期刊文章详细信息
IH工艺的发展及应用
Development and application of IH technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东大学控制学院电子束研究所,山东济南250061
基 金：2003年山东省科学计划项目
年 份：2003
卷 号：40
期 号：11
起止页码：34-39
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。
关 键 词：IH工艺 立体光刻 抗蚀剂 聚合物结构 微机电系统 集成固化聚合物
分 类 号：TN305.7]
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