北京智朗芯光科技有限公司 
研究主题：晶片 垂直入射 光谱仪 基底 半导体材料
研究学科：电子信息类 机械类
- 新型热电材料综述 ( EI收录)
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- 《电子科技大学学报》电子科技大学微电子与固体电子学院;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;广东省中科宏微半导体设备有限公司;中国科学院半导体研究所;中微半导体设备(上海)有限公司;北京智朗芯光科技有限公司 王超 张蕊 杜欣 张晨贵 栾春红 姜晶 胡强 王军喜 杜志游 李天笑 马铁中 严冬 尹志尧 出版年：2017
- 关键词：新型热电材料 功率因子 SEEBECK系数 热电器件 热电性能
- 氮化物外延生长在线监测技术 ( EI收录)
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- 《电子科技大学学报》电子科技大学微电子与固体电子学院;北京智朗芯光科技有限公司 王超 张泽展 陈磊 王飞 胡俊 梁莹林 姜晶 杨萍 马铁中 出版年：2016
- 关键词：曲率测量 生长信息 红外测温 MOCVD在线监测技术 光致发光
- 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
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- 《激光与光电子学进展》中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;北京工业大学电子信息与控制工程学院;北京智朗芯光科技有限公司 崔高增 刘涛 李国光 郭霞 夏洋 出版年：2013
- 关键词：测量 双片波片补偿器 光轴 光谱椭偏仪 偏差角度 消色差
- 一种自动检测晶片基底二维形貌的装置
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- [发明专利] 北京智朗芯光科技有限公司 20141126刘健鹏 马铁中 张立芳 黄文勇 桑云刚 出版年：2018
- 实时快速检测晶片基底二维形貌的方法
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- [发明专利] 北京智朗芯光科技有限公司 20140506刘健鹏 李成敏 严冬 出版年：2015
- 一种三维移动装置
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- [发明专利] 北京智朗芯光科技有限公司 20131022吴文镜 张塘 李成敏 出版年：2015
- W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统
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- [发明专利] 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 20120809李国光 刘涛 吴文镜 赵江艳 出版年：2014
- 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
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- 《微电子学》中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室;北京智朗芯光科技有限公司 严冬 李国光 刘涛 熊伟 李成敏 郭青杨 叶甜春 出版年：2013
- 关键词：S01 反射测定法 膜厚检测 形貌
- 光学无色差聚焦系统
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- [发明专利] 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 20120809李国光 吴文镜 王林梓 刘健鹏 刘涛 赵江艳 出版年：2017
- 一种晶圆片辅助装载装置
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- [发明专利] 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 20130502吴文镜 李成敏 出版年：2017
