文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210281679.7

申 请 日：20120809

发 明 人：李国光 刘涛 吴文镜 赵江艳

申 请 人：中国科学院微电子研究所 北京智朗芯光科技有限公司

申请人地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号

公 开 日：20140212

公 开 号：CN103575392A

代 理 人：刘丽君

代理机构：11302 北京华沛德权律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。

主 权 项：1.一种W型光纤束，其特征在于，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。

关 键 词：光纤 光学测量系统  半导体薄膜 测量精度  光纤端口  输入输出 系统成本  系统光源  连接  光谱

IPC专利分类号：G01J3/02(20060101);G01J3/28(20060101);G02B6/26(20060101);G02B6/04(20060101)