文献类型：期刊文章

作　　者：崔高增[1,2] 刘涛[1,3] 李国光[1,3] 郭霞[2] 夏洋[1]

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029 [2]北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京100124 [3]北京智朗芯光科技有限公司,北京100191

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)资助课题

年　　份：2013

卷　　号：50

期　　号：6

起止页码：89-94

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2013_2014、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。

关 键 词：测量  双片波片补偿器  光轴 光谱椭偏仪  偏差角度  消色差

分 类 号：O433.1]