文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN201210281504.6

申 请 日：20120809

发 明 人：李国光 吴文镜 王林梓 刘健鹏 刘涛 赵江艳

申 请 人：北京智朗芯光科技有限公司 中国科学院微电子研究所

申请人地址：102206 北京市昌平区沙河镇昌平路97号新元科技园B座503室

公 开 日：20171031

公 开 号：CN103575230B

代 理 人：刘丽君

代理机构：11302 北京华沛德权律师事务所

语　　种：中文

摘　　要：本申请涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。本申请提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。

主 权 项：1.一种光学无色差聚焦系统，其特征在于，包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及平面反射镜；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；所述平面反射镜，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第二曲面反射元件，接收由所述平面反射镜反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、平面反射镜及第二曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件具有相同的镀膜参数、光学参数以及曲率半径；所述第一曲面反射元件和所述第二曲面反射元件关于平面反射镜的中心法线对称；光束在所述第一曲面反射元件，所述平面反射镜，所述第二曲面反射元件之间传播时，其主光始终处于同一平面内；若入射到样品上的入射光束的偏离竖直方向2Δt，可以在不改变该反射聚焦系统方位和角度的前提下，仅将入射到该反射聚焦系统的光束的主光束的入射方向改变Δt，即可以调整被该反射聚焦系统反射的光束的方向，使其重新垂直入射到样品表面。

关 键 词：曲面反射元件  平行光束  光学测量 聚焦系统  无色 反射  色差 传播方向  垂直入射 待测样品  工作距离  会聚光束  样品表面  点光源 入射光 申请  聚焦  发射  

IPC专利分类号：G01B11/24(20060101);G01N21/21(20060101);G02B17/06(20060101)