中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 
研究主题：化学吸附 原子层沉积 晶圆 等离子体 氮化碳薄膜
研究学科：电子信息类 自动化类
- 图形化蓝宝石衬底工艺研究进展
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- 《半导体技术》中国科学院微电子研究所;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 黄成强 夏洋 陈波 李超波 万军 汪明刚 饶志鹏 李楠 张祥 出版年：2012
- 关键词：图形化蓝宝石衬底 发光二极管 光刻 纳米压印 刻蚀
- 等离子增强原子层沉积低温生长GaN薄膜 ( EI收录)
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- 《物理学报》山东科技大学材料科学与工程学院;中国科学院微电子研究所;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 汤文辉 刘邦武 张柏诚 李敏 夏洋 出版年：2017
- 关键词：等离子增强原子层沉积 氮化镓 低温沉积
- 一种激光偏振控制模块
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- [实用新型] 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20160818陈鲁 刘虹遥 张朝前 杨乐 马砚忠 路鑫超 出版年：2017
- 一种应用于等离子体设备的腔室结构及等离子体设备
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- [发明专利] 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20141219张庆钊 出版年：2015
- 原子层沉积ALD技术的材料表面防护应用
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- 2014中国功能材料科技与产业高层论坛 2014贾毅 出版年：2014
- 关键词：原子层沉积 材料表面 ALD
- 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法
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- [发明专利] 中国科学院微电子研究所;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20101126刘键 饶志鹏 夏洋 石莎莉 出版年：2011
- 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的刻蚀腔
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- [实用新型] 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20110920黄成强 汪明刚 陈波 李超波 出版年：2012
- 原子层沉积的阳极氧化铝封孔抗腐蚀应用研究
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- 2014中国功能材料科技与产业高层论坛 2014贾毅 杨忙 卢维尔 计峰 李超波 方攸同 夏洋 出版年：2014
- 关键词：原子层沉积 AL2O3 TIO2 封孔 抗腐蚀
- 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法
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- [发明专利] 中国科学院微电子研究所;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20101126刘键 饶志鹏 夏洋 石莎莉 出版年：2011
- 一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法
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- [发明专利] 中国科学院微电子研究所;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 20101126刘键 饶志鹏 夏洋 石莎莉 出版年：2011
