文献类型：会议

作　　者：贾毅 杨忙 卢维尔 计峰 李超波 方攸同 夏洋

作者单位：中国科学院微电子所,北京100029 浙江大学电气工程学院 浙江杭州310027 浙江大学电气工程学院 浙江杭州310027 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,浙江嘉兴314006 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,浙江嘉兴314006 山东大学物理学院,山东济南250100 中国科学院微电子所,北京100029 山东大学物理学院,山东济南250100 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,浙江嘉兴314006

会议文献：2014中国功能材料科技与产业高层论坛论文集

会议名称：2014中国功能材料科技与产业高层论坛

会议日期：20140826

会议地点：西安

主办单位：中国仪器仪表学会仪表功能材料分会

出版日期：20140826

学会名称：中国仪器仪表学会仪表功能材料分会

语　　种：中文

摘　　要：本文以Al2O3和TiO2为基础材料，对比了原子层沉积单一材料层和Al2O3/TiO2叠层等不同工艺条件下镀膜对阳极氧化铝衬底的封孔效果和抗腐蚀性能影响.SEM及染色实验表明原子层沉积工艺能够有效的进行阳极氧化铝材料的孔填充，并最终实现封孔.

关 键 词：原子层沉积 AL2O3 TIO2 封孔 抗腐蚀

分 类 号：TQ133.1] TB306