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河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 收藏

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研究主题:金刚石膜    化学气相沉积    等离子炬    金刚石    辅助电极    

研究学科:电子信息类    电气类    核工程类    环境科学与工程类    

被引量:45H指数:5EI: 3 北大核心: 13 CSCD: 3

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49 条 记 录,以下是 1-10

915 MHz高功率MPCVD装置制备大面积高品质金刚石膜 ( EI收录)
1
《人工晶体学报》河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;北京科技大学新材料技术研究院 李义锋 唐伟忠 姜龙 葛新岗 张雅淋 安晓明 刘晓晨 何奇宇 张平伟 郭辉 孙振路  出版年:2019
河北省科学院科技计划项目(18705,19502);河北省自然科学基金面上项目(E2019302005)
采用自行研制的915MHz/75kW高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,在输入功率60kW,沉积气压20kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石膜,并对金刚石膜的厚度,热导率,线膨胀系数,结晶质量...
关键词:915MHz  MPCVD 金刚石薄膜
化学气相沉积大尺寸多晶金刚石膜及其应用研究进展
2
《真空电子技术》河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;河北省激光研究所有限公司 李义锋 姜龙 安晓明 刘晓晨 张雅琳 仝婷婷 李文江 葛新岗 张平伟 郭辉 孙振路  出版年:2022
国家磁约核聚变能发展研究专项资助(2019YFE03100300);河北省科学院科技计划项目(2022G12);河北省自然科学基金项目(E2019302005)。
人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步,并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破。本文介绍了人工合成金刚石技术,详细分析了几种主要化学气相沉积方法的技术特点、应用领域及发展现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉...
关键词:金刚石 化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 金刚石光学窗口  高功率CO_(2)激光器  红外热成像
CVD法制备高质量金刚石单晶研究进展
3
《人工晶体学报》河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 刘晓晨 郭辉 安晓明 李义锋 姜龙  出版年:2017
本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电...
关键词:微波等离子体 化学气相沉积(CVD)  金刚石单晶
环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜 ( EI收录)
4
《人工晶体学报》北京科技大学新材料技术研究院;河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;中国科学院北京纳米能源与系统研究所 李义锋 唐伟忠 苏静杰 安晓明 刘晓晨 姜龙 孙振路  出版年:2016
介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真...
关键词:金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质  椭球谐振腔  
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石涂层拉拔模具
5
《金刚石与磨料磨具工程》河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 崔玉明 李国华 姜龙  出版年:2019
线材拉拔加工正向精密、高速、低耗、高生产效率方向发展,金刚石涂层拉拔模具是最受用户青睐的产品之一。在综述直流电弧等离子体喷射技术制备金刚石涂层拉拔模具方法的基础上,利用洛氏硬度计、表面粗糙度轮廓测量仪、拉曼光谱仪和光学显...
关键词:直流电弧等离子体喷射法  拉拔模具  金刚石涂层
直流电弧等离子体喷射法生长大尺寸金刚石单晶
6
《超硬材料工程》北京科技大学;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 吕反修 黑立富 李成明 唐伟忠 李国华 郭辉 孙振路  出版年:2018
化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10~30kPa)进行的。这是因为,在高腔压下,微波等...
关键词:金刚石单晶 外延生长  CVD DC ARC PLASMA JET
行波管金刚石输能窗片金属化影响因素分析
7
《电子元件与材料》中国科学院电子学研究所;河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 薛辽豫 刘林 张平伟 安晓明 刘青伦  出版年:2019
河北省科技计划项目资助(17391111D)
为制备行波管用金刚石输能窗片,分析金刚石金属化影响因素。采用粗糙度、拉曼光谱评估金刚石材料性能。采用酸洗、离子束刻蚀清洗金刚石表面。采用冲压掩膜、光刻掩膜防护非金属化区域。通过物理气相沉积制备Ti/Mo/Ni金属化层,并...
关键词:金刚石 金属化 物理气相沉积 掩膜 热处理  碳化钛
高功率CO_(2)激光器CVD金刚石窗口制备研究
8
《人工晶体学报》河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;中国科学院上海技术物理研究所 安晓明 葛新岗 刘晓晨 李义锋 姜龙 罗海瀚  出版年:2021
国家磁约束核聚变能发展研究专项(2019YFE03100300);河北省自然科学基金(E2019302005)。
本文研究制备了可应用于高功率CO_(2)激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜,然后将膜片双面抛光,激光切割成矩形基片,再采用蒸镀...
关键词:CVD金刚石 增透膜 光学窗口 高功率CO_(2)激光器  
用于小角散射原位加载测试的单晶金刚石窗口制备工艺研究 ( EI收录)
9
《人工晶体学报》河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 刘晓晨 葛新岗 李义锋 姜龙 安晓明 郭辉  出版年:2019
河北省高新区科技计划项目(18121015C)
根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 k W穹顶式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系统研究了沉积温度对单晶金刚石生长速率...
关键词:小角散射 MPCVD 单晶金刚石
旋转电弧加热在环状工件内壁沉积金刚石涂层
10
《金刚石与磨料磨具工程》河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;河北省激光研究所 李国华 崔玉明 董旺 姜龙  出版年:2022
为实现在大口径环状工件内壁沉积金刚石涂层,研制一种能够产生旋转电弧的分体式等离子炬。利用活动阳极形成的伞状电弧帽,改变平行于轴且向下吹的工作气体旋转电离的方向,使其垂直吹向环状工件内壁。测试不同阳极直径下电弧的工作参数,...
关键词:等离子炬 旋转电弧 环状工件  金刚石涂层
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