文献类型：期刊文章

作　　者：李义锋[1,2] 唐伟忠[3] 姜龙[1,2] 葛新岗[1,2] 张雅淋[1,2] 安晓明[1,2] 刘晓晨[1,2] 何奇宇[1,2] 张平伟[1,2] 郭辉[1,2] 孙振路[1,2]

LI Yi-feng;TANG Wei-zhong;JIANG Long;GE Xin-gang;ZHANG Ya-lin;AN Xiao-ming;LIU Xiao-chen;HE Qi-yu;ZHANG Ping-wei;GUO Hui;SUN Zhen-lu(Hebei Institute of Laser,Shijiazhuang 050081,China;Hebei Plasma Diamond Technology Co.,Ltd.,Shijiazhuang 050081,China;Institute of Advanced Materials Science and Technology,University of Science and Technology Beijing,Beijing 100083,China)

机构地区：[1]河北省激光研究所,石家庄050081 [2]河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,石家庄050081 [3]北京科技大学新材料技术研究院,北京100083

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：河北省科学院科技计划项目(18705,19502);河北省自然科学基金面上项目(E2019302005)

年　　份：2019

卷　　号：48

期　　号：7

起止页码：1262-1267

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、EI、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用自行研制的915MHz/75kW高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,在输入功率60kW,沉积气压20kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石膜,并对金刚石膜的厚度,热导率,线膨胀系数,结晶质量,光学透过率等参数进行了表征。实验结果表明,制备的大面积自支撑金刚石厚膜均匀完整,相关性能参数达到较高水平,具有较好质量。热学级金刚石膜的生长厚度超过5mm,生长速率达到12.5μm/h;室温25℃热导率2010W·m-1·K^-1,180℃条件下的热导率仍达到1320W·m^-1·K^-1;室温25.4℃时线膨胀系数为1.07×10^-6℃^-1,300℃时升高至2.13×10^-6℃^-1。光学级金刚石膜的生长厚度接近1mm,生长速率约为2.3μm/h,厚度偏差小于±2.7%;双面抛光后的金刚石膜厚度约为700μm,其Raman半峰宽为2.0cm^-1,PL谱中未出现明显与氮相关的杂质峰;其光学吸收边约为223nm,270nm处的紫外透过率接近60%,在8~25μm范围内的光学透过率超过70%。

关 键 词：915MHz  MPCVD 金刚石薄膜

分 类 号：TB34[材料类]