文献类型：期刊文章

作　　者：李义锋[1,2] 姜龙[1,2] 安晓明[1,2] 刘晓晨[1,2] 张雅琳[1,2] 仝婷婷[1,2] 李文江[1,2] 葛新岗[1,2] 张平伟[1,2] 郭辉[1,2] 孙振路[1,2]

LI Yi-feng;JIANG Long;AN Xiao-ming;LIU Xiao-chen;ZHANG Ya-lin;TONG Ting-ting;LI Wen-jiang;GE Xin-gang;ZHANG Ping-wei;GUO Hui;SUN Zhen-lu(Hebei Plasma Diamond Technology Co.,Ltd.,Shijiazhuang 050081,China;Hebei Institute of Laser Co.,Ltd.,Shijiazhuang 050081,China)

机构地区：[1]河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,河北石家庄050081 [2]河北省激光研究所有限公司,河北石家庄050081

出　　处：《真空电子技术》

基　　金：国家磁约核聚变能发展研究专项资助(2019YFE03100300);河北省科学院科技计划项目(2022G12);河北省自然科学基金项目(E2019302005)。

年　　份：2022

期　　号：5

起止页码：1-12

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步,并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破。本文介绍了人工合成金刚石技术,详细分析了几种主要化学气相沉积方法的技术特点、应用领域及发展现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉积大尺寸高品质光学级金刚石膜的发展和现状。最后,对大尺寸光学级金刚石膜在兆瓦级回旋管、高功率CO_(2)激光器以及红外热成像等领域的应用进行了简单介绍。

关 键 词：金刚石 化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 金刚石光学窗口  高功率CO_(2)激光器  红外热成像

分 类 号：O484.5]