文献类型：期刊文章

作　　者：薛辽豫[1] 刘林[1] 张平伟[2,3] 安晓明[2,3] 刘青伦[1]

XUE Liaoyu;LIU Lin;ZHANG Pingwei;AN Xiaoming;LIU Qinglun(Insititute of Electrics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China;Hebei Institute of Laser,Shijiazhuang 050000,China;Hebei Plasma Diamond Technology Co.,Ltd,Shijiazhuang 050000,China)

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所,北京100190 [2]河北省激光研究所,河北石家庄050000 [3]河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,河北石家庄050000

出　　处：《电子元件与材料》

基　　金：河北省科技计划项目资助(17391111D)

年　　份：2019

卷　　号：38

期　　号：1

起止页码：83-88

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD_E2019_2020、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为制备行波管用金刚石输能窗片,分析金刚石金属化影响因素。采用粗糙度、拉曼光谱评估金刚石材料性能。采用酸洗、离子束刻蚀清洗金刚石表面。采用冲压掩膜、光刻掩膜防护非金属化区域。通过物理气相沉积制备Ti/Mo/Ni金属化层,并通过真空热处理方法制备TiC过渡层。结果表明:当金刚石内石墨的质量分数低于1%时,离子束刻蚀方法一方面去除金刚石表面杂质,另一方面将表面粗糙度从0. 256μm提升至0. 343μm;相比冲压掩模,光刻掩模降低界面孔隙率,减少了金属离子对掩模底层的污染,过渡区域宽度从200μm减少至10μm; 700℃保温过程促进了TiC的形成,提升了金属化层结合强度,促进了抗热冲击性能。

关 键 词：金刚石 金属化 物理气相沉积 掩膜 热处理  碳化钛

分 类 号：TN124]