文献类型：期刊文章

作　　者：安晓明[1,2] 葛新岗[1,2] 刘晓晨[1,2] 李义锋[1,2] 姜龙[1,2] 罗海瀚[3]

AN Xiaoming;GE Xingang;LIU Xiaochen;LI Yifeng;JIANG Long;LUO Haihan(Hebei Institute of Laser,Shijiazhuang 050081,China;Hebei Plasma Diamond Technology Co.,Ltd.,Shijiazhuang 050081,China;Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200080,China)

机构地区：[1]河北省激光研究所,石家庄050081 [2]河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,石家庄050081 [3]中国科学院上海技术物理研究所,上海200080

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家磁约束核聚变能发展研究专项(2019YFE03100300);河北省自然科学基金(E2019302005)。

年　　份：2021

卷　　号：50

期　　号：6

起止页码：1010-1015

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文研究制备了可应用于高功率CO_(2)激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜,然后将膜片双面抛光,激光切割成矩形基片,再采用蒸镀法在基片表面制备中心波长在10.6μm的增透膜,最终制备得到金刚石光学窗口。采用傅里叶红外透射谱、热导仪、爆破试验台测试了金刚石基片镀膜前后的红外透过率、热导率和爆破强度。利用自行搭建的光学平台,测试了CVD金刚石基片增透膜能承受的激光功率密度。结果显示CVD金刚石基片在10.6μm处的透过率为70.9%,利用光谱计算的吸收系数为0.06 cm^(-1),热导率>19.5 W/(cm·K),爆破强度>5.62 MPa,镀膜后的透过率为99.2%,增透膜可承受的激光功率密度>995 W/mm2。

关 键 词：CVD金刚石 增透膜 光学窗口 高功率CO_(2)激光器  

分 类 号：O734]