文献类型：期刊文章

作　　者：李义锋[1,2,3] 唐伟忠[1] 苏静杰[4] 安晓明[2,3] 刘晓晨[2,3] 姜龙[2,3] 孙振路[2,3]

机构地区：[1]北京科技大学新材料技术研究院,北京100083 [2]河北省激光研究所,石家庄050081 [3]河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,石家庄050081 [4]中国科学院北京纳米能源与系统研究所,北京100083

出　　处：《人工晶体学报》

年　　份：2016

卷　　号：45

期　　号：8

起止页码：2028-2033

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×10^(-6)Pa·m^3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1%。抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5~25μm范围内接近71%;紫外透过率在270 nm处超过50%,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm^(-1)。

关 键 词：金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质  椭球谐振腔  

分 类 号：O614]