- 真空腔体O形圈密封中燕尾槽使用的研究
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- 《机电工程》华中科技大学机械制造及自动化系;广东昭信半导体装备制造有限公司 朱海科 甘志银 刘宇峰 出版年：2011
- 关键词：O形圈密封 燕尾槽 有限元 拉伸率 压缩率
- 大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真
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- 《科技传播》华中科技大学机械科学与工程学院;广东昭信半导体装备制造有限公司 陈倩翌 甘志银 胡少林 出版年：2011
- 关键词：MOCVD 温度 有限元模拟 有效区域
- 基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析
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- 《计量与测试技术》华中科技大学机械科学与工程学院;广东昭信半导体装备制造有限公司 关国坚 甘志银 出版年：2012
- 关键词：红外测温法 温度场分布
- MOCVD反应腔中蓝宝石片温度均匀性研究
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- 《科技传播》华中科技大学机械科学与工程学院;广东昭信半导体装备制造有限公司 潘建秋 甘志银 植成杨 出版年：2013
- 关键词：MOCVD 有限元模拟 蓝宝石衬底 温度均匀性
- MOCVD石墨盘热可靠性分析
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- 《科技传播》华中科技大学机械科学与工程学院;广东昭信半导体装备制造有限公司 沈桥 甘志银 出版年：2012
- 关键词：MOCVD 热应力 有限元模拟 失效
- 电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积设备
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- [实用新型] 广东昭信半导体装备制造有限公司 20090514甘志银 王亮 胡少林 陈倩翌 朱海科 严晗 出版年：2010
- 气相沉积设备反应腔的加热系统
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- [发明专利] 广东昭信半导体装备制造有限公司 20090410甘志银 胡少林 王亮 陈倩翌 刘胜 出版年：2012
- 基于单片机的双波长红外测温结构设计
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- 《机电一体化》华中科技大学机械科学与工程学院;广东昭信半导体装备制造有限公司 关国坚 甘志银 出版年：2012
- 关键词：双波长测温 波长变换结构 反馈控制 单片机 暗电流修正
- 一种微波等离子体化学气相沉积装置
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- [发明专利] 广东昭信半导体装备制造有限公司 20180605刘胜 沈桥 甘志银 出版年：2019
- 一种基于飞秒激光辅助的半导体材料外延生长方法和装置
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- [发明专利] 武汉大学;广东昭信半导体装备制造有限公司 20160425刘胜 严晗 甘志银 陈斌 彭庆 郑怀 出版年：2016
