期刊文章详细信息
基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析
Analysis of MOCVD Process Temperature Based on Infrared Measurement
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]广东昭信半导体装备制造有限公司,广东佛山528200
基 金：广东省重大科技专项(2010A080802006)
年 份：2012
卷 号：39
期 号：4
起止页码：18-19
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。
关 键 词：红外测温法 温度场分布
分 类 号：TB43]
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